新製品ニュース〜 ３００ｍｍウエーハに対応した欠陥検査装置 設計ルール０．１５ｎｍのＬＳＩに対応
日経エレクトロニクス 第759号 1999.12.13
| 掲載誌 | 日経エレクトロニクス 第759号（1999.12.13） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全527字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （197kb） |
| 雑誌掲載位置 | 66ページ目 |
米Ｓｃｈｌｕｍｂｅｒｇｅｒ Ｌｔｄ．は，３００ｍｍウエーハに対応した欠陥検査装置「Ｏｄｙｓｓｅｙ３００」の出荷を始めた。同社がこれまで製品化してきたＥＢ（ｅｌｅｃｔｒｏｎ ｂｅａｍ）テスタの技術を使った。これまでＬＳＩの配線間の短絡や，光学検査装置では確認が難しいコンタクト・ホールやビア・ホールの接続不良などをチップ単位で検査する装置を製品化してきたが，今回の製品はウエーハの状態で確認できる。現…
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