特集１　今こそ省エネ〜急がば回れの研究開発が開花　高付加価値化を同時に実現
日経エコロジー　第50号　2003.8.1

この記事の情報
掲載誌	日経エコロジー　第50号（2003.8.1）
ページ数	3ページ　（全4505字）
形式	PDFファイル形式　（110kb）
雑誌掲載位置	29〜31ページ目

製造時の電力消費１０分の１を目指すＬＳＩの次世代製造プロセスは、同時に、動作速度１０倍、製造コスト１０分の１が目標。技術開発によって省エネと付加価値創造を実現する根本的な省エネ対策が離陸を始めた。　杜の都・仙台の一角に世界が注目する半導体製造技術の研究開発拠点がある。東北大学の未来情報産業研究館だ。６階建ての研究館には、２層のクリーンルーム、設計室、測定評価室など、半導体の製造プロセスの開発に必要…