〔２０２１年の経営者〕編集長インタビュー 岡林理 レーザーテック社長
エコノミスト 第９９巻 第４４号 通巻４７２４号 2021.11.30
| 掲載誌 | エコノミスト 第９９巻 第４４号 通巻４７２４号（2021.11.30） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全2551字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （737kb） |
| 雑誌掲載位置 | ４〜５頁目 |
◇半導体のマスク検査装置で独走 Interviewer 秋本裕子（本誌編集長）── 主力である半導体のマスク検査装置とはどんな製品ですか。岡林 半導体を作る際に、回路パターンをウエハー（集積回路を作る基板）に露光装置を使って転写します。その露光装置の中でフィルムカメラのフィルムに当たるものがフォトマスクです。マスク検査装置はそのフォトマスクに欠陥がないか、あるいはゴミが付着していないかを検査しま…
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