ＢＵＳＩＮＥＳＳ ＩＮＳＩＤＥ 新参 有力企業が続々と参加 半導体製造装置企業が自信をみせる価格競争力
週刊ダイヤモンド 2002.5.4号 2002.5.4
| 掲載誌 | 週刊ダイヤモンド 2002.5.4号（2002.5.4） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全1132字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （37kb） |
| 雑誌掲載位置 | 20頁目 |
ＢＵＳＩＮＥＳＳ ＩＮＳＩＤＥ 新参 有力企業が続々と参加 半導体製造装置企業が自信をみせる価格競争力 一〇日、日立製作所と三菱電機が、東京精密・ソニーが進める次世代型半導体製造装置「ＬＥＥＰＬ（リープル）」のコンソーシアムに加入した。 ＬＥＥＰＬとは、装置メーカーとしては中堅どころの東京精密とその子会社リープル社の旗振りの下で立ち上げられた「露光装置」の開発コンソーシアムのこと。露光装置とは回路…
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