株式公開ニューフェース〜フォトニクス　柄澤憲彦　社長
日経ベンチャー　第200号　2001.5.1

この記事の情報
掲載誌	日経ベンチャー　第200号（2001.5.1）
ページ数	2ページ　（全2066字）
形式	PDFファイル形式　（90kb）
雑誌掲載位置	102〜103ページ目

　半導体の製造には、光を照射してシリコンウエハーに回路を焼き付ける工程がある。この工程に不可欠な露光装置（ステッパー）には、ウエハーの位置を微調整するため、精度の高い計測器が必要になる。　半導体メーカーはこれまで、〇・一ミクロン（一ミクロンは一ミリメートルの一〇〇〇分の一）の精度で位置決めをしていたが、半導体の集積度が次第に上がり、一部の生産ラインではさらに一ケタ下の〇・〇一ミクロン、すなわち一〇…