Ｗａｔｃｈｅｒ ウォッチャ〜直径１μｍ，アスペクト比３０，ポリイミド・フィルムの穴加工で
日経マイクロデバイス 第292号 2009.10.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第292号（2009.10.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全697字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （179kb） |
| 雑誌掲載位置 | 109ページ目 |
米国ニューハンプシャー州に拠点を置く米ＰｈｏｔｏＭａｃｈｉｎｉｎｇ， Ｉｎｃ．が，有機基板に２μｍ未満の微細な穴を加工できるプロセスを開発した。同社はエキシマ・レーザー，ＹＡＧレーザー，ＣＯ２レーザーなどを光源とした加工装置を開発，製造している企業である。電子部品向けの受託加工も行っている。 同社は，セラミック，Ｓｉウエーハ，薄膜金属，樹脂のシートなどに微細な穴を形成する装置とプロセスの開発で定…
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