Ｗａｔｃｈｅｒ ウォッチャ〜アスペクト比３０の金属構造，線幅２．５μｍの機構部品を実現
日経マイクロデバイス 第291号 2009.9.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第291号（2009.9.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全804字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （180kb） |
| 雑誌掲載位置 | 101ページ目 |
精密なフレキシブル基板や機構部品を手掛ける米Ｄｙｎａｍｉｃ Ｒｅｓｅａｒｃｈ Ｃｏｒｐ．（ＤＲＣ）が，微細な３次元構造を形成できる電鋳プロセスを開発している。同社が提案しているのは，ＬＩＧＡ（ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｉｅ ｇａｌｖａｎｏｆｏｒｍｕｎｇ ｕｎｄ ａｂｆｏｒｍｕｎｇ）プロセスである。 ＤＲＣによると，これまで電鋳による３次元部品の加工限界は，アスペクト比５程度であった。これに対して同社は…
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