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日経マイクロデバイス 第290号 2009.8.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第290号(2009.8.1) |
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ページ数 | 2ページ (全2985字) |
形式 | PDFファイル形式 (447kb) |
雑誌掲載位置 | 82〜83ページ目 |
半導体やFPDでは,デバイス事業の回復の兆しは見え始めてきたが,新規の設備投資が再開するまでには至っていない。これとは対照的に,太陽電池では設備投資の動きは非常に活発だ。製造装置メーカー各社は,太陽電池関連の新製品を相次いで投入している。特に,生産効率の向上に直結する処理時間の短縮をアピールする製品が多い。成膜装置,パターニング装置,検査装置といった製造ラインを構成する多様な装置で,処理時間を短縮…
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