Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ　スループットを５０％向上〜Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ
日経マイクロデバイス　第288号　2009.6.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第288号（2009.6.1）
ページ数	2ページ　（全2089字）
形式	PDFファイル形式　（360kb）
雑誌掲載位置	80〜81ページ目

スループットを５０％向上塗布・現像装置「ＳＯＫＵＤＯ　ＤＵＯ」　３００ｍｍウエーハの処理能力を従来機比で５０％高めた塗布・現像装置（図１）。スループットは２５０〜３００枚／時と「現状で業界最高」（製造元のＳＯＫＵＤＯ）である。液浸露光やダブル・パターニングを使う最先端のＬＳＩ製造ラインに向ける。今回，スループットを高められたのは，「デュアルトラック・システム」を導入したことによる。このシステムでは…