Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ　手のひらサイズに小型化〜Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ
日経マイクロデバイス　第286号　2009.4.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第286号（2009.4.1）
ページ数	2ページ　（全1971字）
形式	PDFファイル形式　（369kb）
雑誌掲載位置	94〜95ページ目

手のひらサイズに小型化「超小型スーパーインクジェットユニット」　外形寸法が１１０ｍｍ×７０ｍｍ×６０ｍｍと，手のひらサイズのインクジェット・ユニット（図１）。インクジェット・ヘッドや位置決め機構，電源アンプを小型化することで実現した。微細加工装置への組み込みに向ける。また本ユニットを複数搭載することで，さまざまなピッチに対応するインクジェット装置を構成できる。インクジェットのノズルを移動させるため…