Ｉｎｓｉｄｅ　ＦＰＤ〜酸化物半導体ＴＦＴを見極める基礎技術は確立，応用開拓が実用化のカギ
日経マイクロデバイス　第286号　2009.4.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第286号（2009.4.1）
ページ数	6ページ　（全5721字）
形式	PDFファイル形式　（930kb）
雑誌掲載位置	53〜58ページ目

ＦＰＤを駆動するＴＦＴの材料として酸化物半導体が注目を集めている。テレビなど既存市場のパネルを高精細，高速化し，さらにフレキシブル・ディスプレイのような新しい応用も開く可能性を秘めているからだ。研究レベルでは実際にパネルを試作した例が数多く出てきている。しかし，使い慣れたアモルファスＳｉに代えて，量産する製品に新材料を導入するとなると話は単純ではない。実用化に向けて検討すべき課題は多い。酸化物半導…