Ｉｎｔｅｒｖｉｅｗ インタビュー〜ＭＥＭＳの２００ｍｍ化で出番到来
日経マイクロデバイス 第285号 2009.3.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第285号（2009.3.1） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全2491字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （373kb） |
| 雑誌掲載位置 | 104〜105ページ目 |
ＭＥＭＳ分野における製造装置事業について米Ａｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ， Ｉｎｃ．に聞いた。同社は，既にインクジェット・ヘッドなどに向けてＭＥＭＳ向け装置事業を展開している。しかし，これまでＭＥＭＳ向けについて語ることは少なかった。このほど，同事業の責任者が，その狙いと今後の展開について語った。ＭＥＭＳ製造の２００ｍｍウエーハ化で同社の出番が来たという。米Ａｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，…
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