Ｗａｔｃｈｅｒ［Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ］ ウォッチャ〜フレキシブルな基材にＣＭＯＳ回路Ｓｉウエーハから転写
日経マイクロデバイス 第284号 2009.2.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第284号（2009.2.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全735字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （174kb） |
| 雑誌掲載位置 | 98ページ目 |
フレキシブル・ディスプレイのように，電子デバイスや回路を柔軟な基材の上に形成するフレキシブル・エレクトロニクスの技術開発が進んでいる。 フレキシブル基材は一般に有機ポリマーであり，Ｓｉなどに比べて耐熱性に劣る。有機ポリマーの中でも耐熱性に優れるポリイミドやＰＥＥＫ（ポリエーテル・エーテル・ケトン）などでも，耐熱性は３００℃である。通常のＬＳＩの製造プロセスを適用することができないため，低温での処…
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