Tech−On!Ranking[MEMS]〜オムロンがMEMS製造用200mmラインを構築
日経マイクロデバイス 第272号 2008.2.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第272号(2008.2.1) |
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ページ数 | 1ページ (全379字) |
形式 | PDFファイル形式 (261kb) |
雑誌掲載位置 | 112ページ目 |
オムロンがMEMSの製造に向けた200mmラインを,滋賀県野洲市にある子会社のオムロン セミコンダクターズの工場内に設置した。自社製品の開発および量産に利用する。2008年4月にMEMSマイクロフォンの量産を開始し,その後RF MEMSスイッチや圧力センサーといった需要増が見込まれる分野のMEMSデバイスの生産を順次開始する。2008年度中には約1000枚/月の生産規模にする予定。これまで同社は…
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