ＭＥＭＳ　Ｇｌｏｂａｌ　Ｖｉｅｗ　ウォッチャ〜始まったばかりのエネルギー・デバイス
日経マイクロデバイス　第270号　2007.12.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第270号（2007.12.1）
ページ数	1ページ　（全1433字）
形式	PDFファイル形式　（167kb）
雑誌掲載位置	237ページ目

　ＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ　ｅｌｅｃｔｒｏ　ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　ｓｙｓｔｅｍｓ）技術によるエネルギー関連デバイスの開発が活発になってきた。現時点では，モバイル機器や分散システム向けの研究が進んでいる。　具体的には，振動や温度変化からエネルギーを生むデバイス，燃料電池などがあり，それぞれ研究開発の段階が異なる（図１）。これら以外にも革新的なコンセプトに基づくデバイスはあるが，多くは水面下で開発中である…