Ｃｈａｌｌｅｎｇｅｒ　挑戦者〜製造装置からパネル生産まで有機ＥＬ照明の実用化に貢献
日経マイクロデバイス　第268号　2007.10.1

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掲載誌	日経マイクロデバイス　第268号（2007.10.1）
ページ数	1ページ　（全1492字）
形式	PDFファイル形式　（204kb）
雑誌掲載位置	178ページ目

小笠原　弘明　氏三菱重工業広島製作所機械プラント技術部主席プロジェクト統括　有機ＥＬ（ｅｌｅｃｔｒｏｌｕｍｉｎｅｓｃｅｎｃｅ）を照明用途に使うためには，均一で薄い膜を安く作る必要がある。三菱重工業機械・鉄構事業本部が２００７年４月に開発した有機ＥＬ連続製造装置は，最初から量産を意識した設計である。同装置の心臓部となる直線状のリニア蒸発源は，同事業本部が製鉄工程で培った蒸着によるＡｌの連続成膜技術が…