Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜オムロンが世界最小「１２１３」サイズのＳｉ　ＭＥＭＳマイクを発表感度は−４０ｄＢＶ
日経マイクロデバイス　第267号　2007.9.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第267号（2007.9.1）
ページ数	1ページ　（全485字）
形式	PDFファイル形式　（299kb）
雑誌掲載位置	102ページ目

　オムロンは，世界最小という外形寸法１．２ｍｍ×１．３ｍｍ×０．４ｍｍのＳｉ製ＭＥＭＳマイクロフォン・チップを開発し，サンプルを発売した。使用温度範囲は推奨値で−２５〜＋７０℃。入力電圧範囲は１１．５〜１２．５Ｖ。最大印加電圧は１５Ｖ。既存のエレクレット・コンデンサ・マイクロフォン（ＥＣＭ）に比べて熱に強い。同社は，このＭＥＭＳマイクを使用した試作モジュールで評価試験を行い，−４０ｄＢＶレベル（１…