Ｎｅｗ　Ｐｒｏｄｕｃｔｓ　５０ｍｍ径の試料を処理可能〜５０ｍｍ径の試料を処理可能
日経マイクロデバイス　第265号　2007.7.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第265号（2007.7.1）
ページ数	1ページ　（全481字）
形式	PDFファイル形式　（508kb）
雑誌掲載位置	166ページ目

　処理できる試料の大きさを従来比２倍の５０ｍｍ径にしたイオン・ミリング装置（図２）。走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）や２次イオン質量分析装置（ＳＩＭＳ）で計測する試料の表面を，計測前に５ｍｍ径の範囲で平坦化するために使う。試料の大型化に対する需要は「電装部品向けで高まっている」（製造元の日立ハイテクノロジーズ）と言う。試料を載せる試料室を大きくすることで対応した。そのほか，大きく二つの特徴がある。第１に…