Ｒｅｐｏｒｔ［ＭＥＭＳ］〜ソニー，ホンダ，ＩＢＭ大手企業がＭＥＭＳ開発に本腰
日経マイクロデバイス 第265号 2007.7.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第265号（2007.7.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全2784字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （759kb） |
| 雑誌掲載位置 | 87ページ目 |
ソニー，ホンダ，米ＩＢＭ Ｃｏｒｐ．といった大手企業がＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓ−ｔｅｍｓ）デバイス開発に力を入れている。そのような動向が，６月にフランス・リヨンで開催されたＭＥＭＳ関連の国際学会「１４ｔｈ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｃｏｎｆｅｒｅｎｃｅ ｏｎ Ｍｉｃｒｏ−Ｓｅｎｓｏｒｓ， Ａｃｔｕａｔｏｒｓ ａｎｄ Ｍｉｃｒｏｓｙｓｔｅｍｓ（Ｔｒａｎｓ…
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