Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜ＭＥＭＳの過去と未来（４）エネルギーと光
日経マイクロデバイス 第264号 2007.6.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第264号（2007.6.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全229字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （290kb） |
| 雑誌掲載位置 | 101ページ目 |
ＭＥＭＳの新アプリケーションの一つであるエネルギー発生システムで，ＭＥＭＳが最もインパクトを与えられる応用は，熱電効果，マイクロ燃料電池，振動／動作によるエネルギー発生である。振動からエネルギーを発生する基本的な手法は，動きを利用することである。光ＭＥＭＳは，幅広い実現手法と課題を持つ市場である。プロジェクション・システムおよびテレビ向け「ＤＭＤ（ｄｉｇｉｔａｌ ｍｉｃｒｏｍｉｒｒｏｒ ｄｅｖｉ…
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