Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜ＭＥＭＳデバイスのＷＬＰ向けに米ＩＭＴが成膜サービスを開始
日経マイクロデバイス 第264号 2007.6.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第264号（2007.6.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全292字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （290kb） |
| 雑誌掲載位置 | 100ページ目 |
米Ｉｎｎｏｖａｔｉｖｅ Ｍｉｃｒｏ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ， Ｉｎｃ．（ＩＭＴ）は，ＭＥＭＳデバイスのウエーハ・レベル・パッケージ（ＷＬＰ）に向けた成膜サービスを開始した。ＭＥＭＳデバイスを作製したウエーハに不純物除去（ゲッタリング）膜を堆積させて高真空環境で封止できるようにし，デバイスの性能劣化を防ぐ。同社はこの成膜サービスを，カリフォルニア州にあるクラス１００のクリーン・ルームを使って提供する…
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