Ｒｅｐｏｒｔ［ＬＳＩ］〜液浸露光は第２世代へＪＳＲが高屈折率液体の実用化にメド
日経マイクロデバイス 第263号 2007.5.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第263号（2007.5.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全1444字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （204kb） |
| 雑誌掲載位置 | 91ページ目 |
高屈折率液体を使う“第２世代液浸”の実用化が，現実味を帯びてきた。ターゲットは２０１０年，３２ｎｍ世代向けである。２大課題である液体材料と露光装置向けレンズ材料のうち，液体材料の実用化にメドがついた。透過率で純水を上回る高屈折率液体をＪＳＲが開発し，「製品化できる段階にきた」（同社 電子材料事業部 実装材料部 部長の稗田克彦氏）と言う注１）。 同社が開発したのは有機系の液体材料で，屈折率は純水の…
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