Ｒｅｐｏｒｔ［ＦＰＤ］　囲み　液晶向け装置・部材メーカーが狙う，２００７年度の〜オンリー・ワン型の装置・部材は“究極の性能”でパネル・メーカーに貢献
日経マイクロデバイス　第262号　2007.4.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第262号（2007.4.1）
ページ数	1ページ　（全632字）
形式	PDFファイル形式　（383kb）
雑誌掲載位置	92ページ目

　他社の追従を許さないオンリー・ワン製品を持つ液晶向け装置・部材メーカーは，性能や供給の安定性を究めることでパネル・メーカーの要求に応える。特に露光装置，検査装置，ガラス基板で，こうした戦略を取るメーカーが多い。　露光装置メーカーのキヤノンは，性能向上と装置の設置期間短縮を２００７年度の目標に置く。そこで，「出荷前に自社ですべて組み立てて調整を済ませた後に再度分解して納品する方法に変更した」（同社…