Tech−On!Ranking[MEMS]〜恒例の「MEMS集中講義」が開催 MEMSの最新情報を解説
日経マイクロデバイス 第256号 2006.10.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第256号(2006.10.1) |
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ページ数 | 1ページ (全342字) |
形式 | PDFファイル形式 (270kb) |
雑誌掲載位置 | 105ページ目 |
MEMSに関する基礎的な物理からプロセス技術,応用,ビジネスまでを網羅的に解説する技術セミナー「MEMS集中講義」が,8月23〜25日に東京で開催された。2006年は,東北大学特定領域研究推進支援センター,マイクロ・ナノマシニング研究教育センター,MEMSパークコンソーシアム,SEMIジャパンの共催となった。東北大学教授の江刺正喜氏が率いる研究室の教職陣が,最新の情報に基づき設計上のノウハウまで…
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