ＭＥＭＳ Ｇｌｏｂａｌ Ｖｉｅｗ ウォッチャ〜ＭＥＭＳ向けＳＯＩ，２０１０年に３倍超へ
日経マイクロデバイス 第256号 2006.10.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第256号（2006.10.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全1488字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （119kb） |
| 雑誌掲載位置 | 181ページ目 |
ＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）向け基板の２０１０年の市場は，２００５年に比べて２倍以上に拡大すると，われわれは予測している（図１）。基板を材料別に見ると，Ｓｉのほか，水晶，ガラス，ＳＯＩ（ｓｉｌｉｃｏｎ ｏｎ ｉｎｓｕｌａｔｏｒ），高分子（ポリマー）などがある。ＳＯＩウエーハは張り合わせが主流 このうち安定した比率で使われているのがＳＯＩである。ＭＥ…
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