Ｎｅｗ Ｐｒｏｄｕｃｔｓ 液晶用以外のマスク検査にも対応〜液晶用以外のマスク検査にも対応 中大型用フォト・マスク欠陥検査装置「ＬＩ３４／４４」
日経マイクロデバイス 第256号 2006.10.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第256号（2006.10.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全543字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （337kb） |
| 雑誌掲載位置 | 175ページ目 |
各種ＣＡＤ（ｃｏｍｐｕｔｅｒ ａｉｄｅｄ ｄｅｓｉｇｎ）データ・フォーマットに対応した中大型用フォト・マスク・パターン欠陥検査装置（図５）。ｇ線の光で液晶パネル製造用マスクなどをスキャンし， ＣＣＤ（ｃｈａｒｇｅ ｃｏｕｐｌｅｄ ｄｅｖｉｃｅ）センサーで検出した信号を参照用のマスク・パターンまたはデータベースのデータと比較して，欠陥を検出する。各種ＣＡＤデータ・フォーマット（ＤＸＦ，Ｇｅｒｖｅｒ…
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