ＭＥＭＳ Ｇｌｏｂａｌ Ｖｉｅｗ ウオッチャ〜ＭＥＭＳエッチャ，半導体分野にも応用へ
日経マイクロデバイス 第253号 2006.7.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第253号（2006.7.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全1486字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （126kb） |
| 雑誌掲載位置 | 165ページ目 |
ＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）製造用装置の市場規模は，２０１０年に８億６０００万米ドルに達すると，われわれは予測している。 今回，ＭＥＭＳ製造装置の中で主力の深掘りエッチング向けＤＲＩＥ（ｄｅｅｐ ｒｅａｃｔｉｖｅ ｉｏｎ ｅｔｃｈｉｎｇ）装置を取り上げる。ＤＲＩＥ装置は，これまで１０年以上使われており，その累積導入台数は約７００台である。２００５年…
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