Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜「ＭＥＭＳ共振器はセンサー開発の過程で生まれた」　米ＳｉＴｉｍｅ社に聞く
日経マイクロデバイス　第252号　2006.6.1

　米ＳｉＴｉｍｅ　Ｃｏｒｐ．は，Ｓｉ技術を使ったＭＥＭＳ共振器を搭載する発振器「ＳｉＲｅｓ」シリーズを２００６年９月から量産する。水晶発振器と比較し，外付けコンデンサや抵抗が不要なことから実装面積を約７０％減らせるという。「年間３０００億円程度ある水晶発振器市場の約９０％が，今回の発振器の影響を受けるだろう」（同社）と強気だ。その後，発振器としてより高い性能を要求される用途に向けた製品を発売する計…