Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜米ベンチャがＭＥＭＳで 水晶発振器を代替するデバイス ２００６年秋に量産へ
日経マイクロデバイス 第252号 2006.6.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第252号（2006.6.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全363字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （130kb） |
| 雑誌掲載位置 | 98ページ目 |
米国のベンチャ企業ＳｉＴｉｍｅ Ｃｏｒｐ．は，水晶発振器を代替可能なＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ ｅｌｅｃｔｒｏ ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ ｓｙｓｔｅｍｓ）デバイスの本格量産を２００６年９月に開始する。民生機器向けである。ＳｉＴｉｍｅは，独Ｒｏｂｅｒｔ Ｂｏｓｃｈ ＧｍｂＨが出資し，技術ライセンスするベンチャ企業で，２００４年１２月に創業した。Ｂｏｓｃｈが開発した半導体前工程プロセスによる封止技術を使い，低…
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