Interview インタビュー〜LSI制したレーザー事業,次はFPDへ
日経マイクロデバイス 第251号 2006.5.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第251号(2006.5.1) |
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ページ数 | 2ページ (全2797字) |
形式 | PDFファイル形式 (109kb) |
雑誌掲載位置 | 128〜129ページ目 |
LSI露光装置向け深紫外(DUV)レーザー光源で業界首位の米Cymer Inc.が,フラットパネル・ディスプレイ(FPD)向け事業を強化する。これまでLSI事業に注力して成長を遂げてきた同社は,なぜFPD事業の強化に乗り出すのか。LSI事業の経験をどのように生かすのか。同社の創業メンバーの一人であり,創業以来20年にわたって会長兼CEOを務めるRobert P. Akins氏に聞いた。米Cymer…
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