Ｋｅｙ　Ｗｏｒｄ　今月のキー・ワード〜『ＥＥＳ』
日経マイクロデバイス　第249号　2006.3.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第249号（2006.3.1）
ページ数	1ページ　（全999字）
形式	PDFファイル形式　（141kb）
雑誌掲載位置	15ページ目

　ＬＳＩ生産の高効率化を目指した「ＥＥＳ（ｅｑｕｉｐｍｅｎｔ　ｅｎｇｉｎｅｅｒｉｎｇ　ｓｙｓｔｅｍ）」と呼ぶ技術を量産現場に導入する動きが本格的に始まった（図１）。ＥＥＳとは，ＬＳＩ製造装置が正常に機能しているかどうかをデータでチェックし，装置の信頼性や生産性を向上させるシステムを指す。２００５年にはルネサス　テクノロジやソニーが相次ぎ採用を決めた。今後ＬＳＩ業界全体に広がる可能性が高い。装置メー…