Interview インタビュー〜世界のLSI工場廃水からSiを集める
日経マイクロデバイス 第248号 2006.2.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第248号(2006.2.1) |
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ページ数 | 2ページ (全2637字) |
形式 | PDFファイル形式 (278kb) |
雑誌掲載位置 | 136〜137ページ目 |
LSI工場廃水に含まれるSi粉末を回収し,再資源化する動きが本格化している。この分野で先行する三洋アクアテクノは,Siの回収先を世界に広げていく考えを明らかにした。現状では輸送コストの問題で遠距離の工場から回収することは難しいが,回収したSiの品質を高めて輸送コストを帳消しにする。同社社長の対比地元幸氏に今後の展望を聞いた。三洋アクアテクノ 代表取締役 社長対比地 元幸 氏−Siウエーハの半分以上…
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