Ｔｅｃｈ−Ｏｎ！Ｒａｎｋｉｎｇ［ＭＥＭＳ］〜特別連載「ＭＥＭＳの本質を理解する」（１）　「“ＭＥＭＳ＝小型機械”という誤解」　ＭＥＭＳがシステムＬＳＩの新たな差異化要因
日経マイクロデバイス　第244号　2005.10.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第244号（2005.10.1）
ページ数	1ページ　（全336字）
形式	PDFファイル形式　（243kb）
雑誌掲載位置	96ページ目

　センサーやアクチュエータといった個別部品をＳｉ基板上に集積化できるＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏ　ｅｌｅｃｔｒｏ　ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　ｓｙｓｔｅｍｓ）技術。一口にＭＥＭＳといっても，その種類はディスプレイや光スイッチ，高周波フィルタ，加速度センサーなど数え切れない。この技術がシステムＬＳＩの新たな差異化要因になる。こうした観点から欧米ではＭＥＭＳの研究・開発が活発化しており，台湾では待ち望まれていたＭＥ…