Ｅｍｅｒｇｉｎｇ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ 技術革新〜ＦＰＤの進化の決め手は“バイオ” フレキ基板に高品質のＳｉ膜を形成へ
日経マイクロデバイス 第243号 2005.9.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第243号（2005.9.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全992字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （144kb） |
| 雑誌掲載位置 | 3ページ目 |
バイオ・テクノロジがＦＰＤ（フラットパネル・ディスプレイ）の進化を支える技術として急浮上してきた。奈良先端科学技術大学院大学（ＮＡＩＳＴ）の冬木隆氏と浦岡行治氏のグループは，タンパク質を使い，ガラス基板上に高品質の多結晶Ｓｉ薄膜を形成することに成功した（図１）。多数のＮｉイオン（Ｎｉコア）を内包するフェリチンと呼ぶタンパク質の水溶液をアモーファスＳｉ薄膜に塗布し，ＮｉとＳｉの化合物を核として５５…
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