Ｅｍｅｒｇｉｎｇ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ〜「こんな配線見たことない」　２ｎｍ厚のバリヤー膜を自己形成
日経マイクロデバイス　第241号　2005.7.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第241号（2005.7.1）
ページ数	1ページ　（全1126字）
形式	PDFファイル形式　（146kb）
雑誌掲載位置	5ページ目

　「見たこともない」と，あるプロセス技術者に言わしめたＬＳＩ配線の断面写真がここにある（図１）。通常，上層と下層の配線を結ぶビアの底部には黒い線が見えるものだが，今回はそれがなく，Ｃｕの結晶が連続的に成長している。これは，ビア底部にバリヤー膜が存在しないことを示している。バリヤー膜とは，Ｃｕ原子が絶縁膜中に拡散するのを防ぐための高抵抗の金属膜であり，配線抵抗を下げるために可能な限り薄くするか，排除…