WEB Access Ranking[FPD]〜「GLV」ディスプレイの開発元に 光を通す密閉型パッケージの特許交付
日経マイクロデバイス 第239号 2005.5.1
掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第239号(2005.5.1) |
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ページ数 | 1ページ (全247字) |
形式 | PDFファイル形式 (53kb) |
雑誌掲載位置 | 89ページ目 |
光を透過する密閉型パッケージ技術に関する特許が2005年3月29日に米国で交付された。米Silicon Light Machines Corp.が2002年6月に出願していたものである。この特許は「Method of sealing a hermetic lid to a semiconductor die at an angle」(USP6,872,984)。MEMS技術を使って実現するマイク…
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