Ｒｅｐｏｒｔ［ＦＰＤ］〜“曲がるディスプレイ”の駆動素子に アモーファス酸化物トランジスタが名乗り
日経マイクロデバイス 第235号 2005.1.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第235号（2005.1.1） |
|---|---|
| ページ数 | 2ページ （全2366字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （56kb） |
| 雑誌掲載位置 | 102〜103ページ目 |
「フレキシブル・ディスプレイの駆動素子材料の決定版」をうたう，新しい半導体材料が登場した。東京工業大学教授の細野秀雄氏のグループが開発した，Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ−Ｏ系のアモーファス酸化物半導体である。室温付近で，大面積のプラスチック基板に容易に成膜できることが特徴である。無機材料であるため，有機半導体に比べて性能が安定し，フォト・リソグラフィ技術による微細加工が容易である（図１）。細野氏のグループは…
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