ＩＰ Ｗａｔｃｈｅｒ〜“装置レシピ”はもっと生かせる
日経マイクロデバイス 第230号 2004.8.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第230号（2004.8.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全1412字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （26kb） |
| 雑誌掲載位置 | 190ページ目 |
半導体産業において，製造装置の制御方法をソフトウェア化した“装置レシピ”に対する注目度が高まってきている。この装置レシピに対する期待感は，かつて半導体設計分野において，ＩＰ（ｉｎｔｅｌｌｅｃｔｕａｌ ｐｒｏｐｅｒｔｙ）が登場した時と似ている。いずれも，高付加価値な知的財産であり，また，ハードウェアから独立した取引対象物という共通項を持つ。そこで，半導体のＩＰと対比しながら装置レシピの今後を占って…
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