ＷＥＢ　Ａｃｃｅｓｓ　Ｒａｎｋｉｎｇ［Ｄｉｓｐｌａｙ］〜スピンレス方式で　第７世代ガラス基板にレジスト塗布　東京応化が披露
日経マイクロデバイス　第230号　2004.8.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第230号（2004.8.1）
ページ数	1ページ　（全288字）
形式	PDFファイル形式　（102kb）
雑誌掲載位置	104ページ目

　スピンレス・コーターで第７世代ガラス基板にレジストを塗布したサンプルを，東京応化工業が都内で開催された展示会で披露した。ガラス基板の寸法は１８７０ｍｍ×２２００ｍｍである。「第７世代ライン対応の量産版スピンレス塗布装置の第１号機で試作した」（同社）ものである。同社が今回開発した第７世代対応のスピンレス・レジスト塗布装置は，従来の第５世代対応装置と同等のタクト時間を実現している。第５世代対応装置で…