ＷＥＢ　Ａｃｃｅｓｓ　Ｒａｎｋｉｎｇ［Ｍｅｍｏｒｙ］〜韓国Ｓａｍｓｕｎｇが　７０ｎｍＤＲＡＭプロセス技術を開発　「電気特性を大幅に向上できる」
日経マイクロデバイス　第229号　2004.7.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第229号（2004.7.1）
ページ数	1ページ　（全461字）
形式	PDFファイル形式　（67kb）
雑誌掲載位置	106ページ目

　韓国Ｓａｍｓｕｎｇ　Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ　Ｃｏ．，Ｌｔｄ．はＣＶＤ方式を活用した７０ｎｍルールのＡｌプロセス技術を開発した。７０ｎｍでキーになるＤＲＡＭプロセス技術を相次いで開発し，次世代をリードする意向である。ＣＶＤ　Ａｌプロセス技術は，Ａｌを含んだ金属化学物質を化学反応でウエーハ表面に蒸着し，配線にする。これにより，配線の電気的特性を大幅に向上できるとする。７０ｎｍＤＲＡＭ製造に必須のプロ…