Ｉｎｔｅｒｖｉｅｗ〜“ポスト半導体”向け装置開発を積極化
日経マイクロデバイス　第228号　2004.6.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第228号（2004.6.1）
ページ数	2ページ　（全2472字）
形式	PDFファイル形式　（51kb）
雑誌掲載位置	136〜137ページ目

装置メーカー各社が，半導体に続く新市場の開拓に取り組んでいる。典型的なメーカーにアネルバがある。半導体向けで培ったメタルＣＶＤ装置や高速エッチング装置でまずはＭＥＭＳ（ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏ　ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ　ｓｙｓｔｅｍｓ）デバイスの市場を狙う。「デバイス・メーカーが半導体の付加価値を高める目的でＭＥＭＳを使うため，市場拡大が見込める」という。アネルバ　次世代技術開発本部本部長村尾　幸信　…