Ｒｅｐｏｒｔ［Ｌｏｇｉｃ］〜量産ラインへの導入始まる　「ＨＡＬＣＡ」プロジェクトの成果
日経マイクロデバイス　第228号　2004.6.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第228号（2004.6.1）
ページ数	2ページ　（全2214字）
形式	PDFファイル形式　（90kb）
雑誌掲載位置	77〜78ページ目

　新しい半導体製造システムの開発を目指した「ＨＡＬＣＡ」プロジェクトの成果をＬＳＩ量産ラインに導入する動きが広がり始めた。東芝，ソニーをはじめとするＨＡＬＣＡ参画企業７社が導入する意向を明らかにした（図１）。　ＨＡＬＣＡは，ＳｏＣ（ｓｙｓｔｅｍ　ｏｎ　ａ　ｃｈｉｐ）の量産に適した新しい生産技術の開発プロジェクトである（図２）。多品種少量生産工場「アジャイル・ファブ」（本誌２００１年１１月号，ｐｐ．…