ＷＥＢ Ａｃｃｅｓｓ Ｒａｎｋｉｎｇ［Ｄｉｓｐｌａｙ］〜スピンレス化が始まった 第６世代ＴＦＴ液晶ラインのレジスト塗布工程
日経マイクロデバイス 第228号 2004.6.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第228号（2004.6.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全282字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （94kb） |
| 雑誌掲載位置 | 73ページ目 |
第６世代ＴＦＴ液晶パネル生産ラインのレジスト塗布工程のスピンレス化が始まる。パネル・メーカーの要求に応えて，スピンレス方式のレジスト塗布・現像装置を製品化する動きが製造装置メーカーから相次いで出てきた。大日本スクリーン製造が第６世代基板対応装置を２００４年春に発売すると発表したのに続き，東京エレクトロンは２００４年８月に装置の出荷を開始すると発表した。対応するガラス基板は１５００ｍｍ×１８００ｍ…
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