Ｒｅｐｏｒｔ［Ｄｉｓｐｌａｙ］〜縦型搬送を実現する技術が登場　まずガラス基板移載装置に応用
日経マイクロデバイス　第224号　2004.2.1

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掲載誌	日経マイクロデバイス　第224号（2004.2.1）
ページ数	1ページ　（全1125字）
形式	PDFファイル形式　（50kb）
雑誌掲載位置	98ページ目

　液晶パネル製造で使う大型ガラス基板の搬送の問題を解決する技術を，オムニ研究所が開発した（図１）。液晶製造プロセスにおいて，搬送器具と接触させずにガラス基板を搬送領域から製造装置や検査装置に移載できる技術である。　ガラス基板の移載には，従来フォーク形状の搬送器具に基板を載せて移し換える方法が使われていた。しかし，この方法ではフォーク形状の搬送器具とガラス基板が接触するために静電気によって，ガラス基…