Ｃｈａｌｌｅｎｇｅｒ〜ＣＣＤ，ゲート，ＭＲＡＭ　プラズマ究めて問題解決
日経マイクロデバイス　第223号　2004.1.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第223号（2004.1.1）
ページ数	1ページ　（全1300字）
形式	PDFファイル形式　（60kb）
雑誌掲載位置	19ページ目

寒川　誠二　氏　東北大学　教授　「プラズマの本質を理解すれば，プラズマ技術の適用範囲が大きく広がる」。これまで２０年近くプラズマ技術の研究に従事してきた東北大学教授の寒川誠二氏は，このように指摘する。同氏は，プラズマの本質解明を進める一方で，各種課題を解決できる技術を次々と開発してきた。この結果，ＣＣＤ（ｃｈａｒｇｅ　ｃｏｕｐｌｅｄ　ｄｅｖｉｃｅ）やゲートのプラズマ損傷の克服技術，プラズマを使った…