Ｅｍｅｒｇｉｎｇ　Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ〜オンチップ燃料電池を実現へ　要素技術整備が進む
日経マイクロデバイス　第221号　2003.11.1

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掲載誌	日経マイクロデバイス　第221号（2003.11.1）
ページ数	1ページ　（全1191字）
形式	PDFファイル形式　（53kb）
雑誌掲載位置	3ページ目

　携帯機器からバッテリが見当たらなくなる。ＬＳＩチップに燃料電池を搭載することにより，携帯機器の小型化が一気に進み，きょう体設計の自由度が大幅に向上する。　このようなことを可能にするオンチップ燃料電池の実現性が高まってきた。オンチップに作り込む３次元加工技術や，燃料電池の重要部材で高価なことが問題になっていたメンブレンの低コスト化技術など，要素技術が整ってきたからである（図１）。オンチップにＲＦ回…