Ｓｔａｒｔ Ｕｐ〜日本のモノ作り復権目指し 自ら成功事例を作る
日経マイクロデバイス 第219号 2003.9.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第219号（2003.9.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全1376字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （49kb） |
| 雑誌掲載位置 | 138ページ目 |
加納 浩之 氏ＮＵエコ・エンジニアリング代表取締役 「成功事例を作って日本のモノ作り復権に貢献したい」。産学連携により，プラズマ反応装置で世界初の試みに挑戦する加納浩之氏は，現在の意気込みをこのように語る。開発するプラズマ反応装置は，デバイスのエッチングや膜形成のプロセス条件を，装置自体が放っておいても自動的に最適化できる。 加納氏は，その技術のベースを開発した名古屋大学と共同で装置を実用化するベ…
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