Ｒａｎｋｉｎｇ［Ｍｅｍｏｒｙ］〜韓国ＳａｍｓｕｎｇがメモリーＬＳＩの微細加工に 伝統技法を活用
日経マイクロデバイス 第219号 2003.9.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第219号（2003.9.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全333字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （99kb） |
| 雑誌掲載位置 | 91ページ目 |
韓国Ｓａｍｓｕｎｇ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｃｏ．，Ｌｔｄ．はメモリーＬＳＩの微細加工技術で二つの新技術，「ダマシンゲート（Ｄａｍａｓｃｅｎｅ Ｇａｔｅ）」，「ＲＣＡＴ（Ｒｅｃｅｓｓ Ｃｈａｎｎｅｌ Ａｒｒａｙ Ｔｒａｎｓｉｓｔｏｒ）」を開発した。５０ｎｍ級以下の次世代メモリーＬＳＩに適用される。新技術は，韓国の伝統陶磁器製作技術である“象嵌技法”を活用したものである。ダマシンゲートはフォト・リ…
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