Ｒａｎｋｉｎｇ［Ｍｅｍｏｒｙ］〜「こんな装置を見たことない」 初期コスト半分，消費電力１／１０ スループット同等のＲＴＰ装置が登場
日経マイクロデバイス 第219号 2003.9.1
| 掲載誌 | 日経マイクロデバイス 第219号（2003.9.1） |
|---|---|
| ページ数 | 1ページ （全428字） |
| 形式 | PDFファイル形式 （99kb） |
| 雑誌掲載位置 | 91ページ目 |
「これまで，こんな装置を見たことない」。ＮＥＣ広島の装置技術の責任者がこう評する装置が登場した。米ＷａｆｅｒＭａｓｔｅｒｓ， Ｉｎｃ．のＲＴＰ（ｒａｐｉｄ ｔｈｅｒｍａｌ ｐｒｏｃｅｓｓ）装置「ＳＲＴＦ−２００」である。稼働率は９９．５％で，過去数カ月間の休止率は０．１８％，メンテナンスはなかったという。ＮＥＣ広島ではＤＤＲＩＩ仕様の５１２ＭビットＤＲＡＭの製造に今回の装置を導入した。ソース・ド…
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