Ｒｅｐｏｒｔ［Ｄｉｓｐｌａｙ］〜「ＨＡＬＣＡ」は液晶産業に　恩恵をもたらすか？
日経マイクロデバイス　第217号　2003.7.1

この記事の情報
掲載誌	日経マイクロデバイス　第217号（2003.7.1）
ページ数	2ページ　（全2646字）
形式	PDFファイル形式　（58kb）
雑誌掲載位置	149〜150ページ目

　液晶製造プロセスの課題を解くカギが，次世代半導体の生産のあり方を探る議論の中にあった。高効率半導体製造システムの開発を目指す「ＨＡＬＣＡ」プロジェクトは６月に中間報告を実施したが，そこには液晶産業が基板の大型化で直面している課題を解決するためのヒントが数多く含まれていた。「理想だが現状では不可能」と言われている“液晶版ミニファブ”実現の突破口になる可能性を秘める。液晶にも当てはまる課題　ＴＦＴ液…